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参考消息

大动作!中兴被禁后,“中国芯”迎来重大突破

2018-05-22 15:41:02 来源:参考消息网 责任编辑:平悦

核心提示:日前,多台阿斯麦光刻机运入国内芯片制造企业,5月19日长江存储迎来了自己的首台光刻机,5月21日华力集成电路建设和营运的12英寸先进生产线建设项目(华虹六厂)实现首台工艺设备——光刻机搬入,中芯国际订购的最先进EUV光刻机在2019年初也将交付……

参考消息网5月22日报道 5月19日,长江存储终于盼来了自己的首台光刻机。当天中午,这台价值7200万美元、比黄金还金贵的设备,运抵了武汉天河机场。这台来自全球最大的芯片设备制造商——荷兰阿斯麦公司(ASML)的大家伙的到来,被外界看做中国芯片技术的重要突破。

好消息不止一个。就在几天前,据《日经亚洲评论》15日援引消息人士的话称,中国芯片加工企业中芯国际(SMIC)也与同一家企业——荷兰阿斯麦公司订购了其首台最先进的EUV(极紫外线)光刻机,价值1.2亿美元。消息称,这台几乎相当于中芯国际去年全部净利润的设备,将于2019年初交付。

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5月19日,长江存储首台光刻机运抵武汉天河机场。

光刻机为何物?

光刻机为何物?为何如此金贵?

香港《明报》5月22日报道称,光刻机(又称曝光机)是生产大规模集成电路的核心设备,其作用是扫描曝光芯片晶圆,刻蚀集成电路。制造和维护需要高度的光学和电子工业基础,世界上只有少数厂家掌握。因此光刻机的价格昂贵,通常在3000万至5亿美元不等。目前,虽然尼康、佳能等对手都在勉力竞争,但是自飞利浦独立的阿斯麦公司掌握了90%以上的高端光刻机市场份额。精度愈高的光刻机,能生产出纳米尺寸愈小、功能更强大的芯片。

世界最新最先进的两代高端光刻机领域,即浸入式(Immersion)和极紫外线式(EUV)光刻机,全部由阿斯麦掌握核心技术。报道称,小于5纳米的芯片晶圆,目前只能用EUV光刻机生产。三星电子和台积电目前正竞争生产7纳米工艺技术芯片,这两家都订购了阿斯麦公司的EUV光刻机。目前,苹果iPhone X和iPhone 8系列的核心处理器芯片,采用的是台积电10纳米工艺技术,而今年即将推出的新款iPhone将使用7纳米工艺技术。

由此可知,拥有光刻机对芯片工艺的实现有着决定性的影响。

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荷兰阿斯麦公司厂区。(法新社)

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